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Grundlegende physikalische Erläuterungen, die das Plasma einer Glimmentladung beschreiben, sollen hier nicht näher erklärt werden, da die metallkundlichen Möglichkeiten dieser Nitriertechnik im Vordergrund stehen. Die nachfolgende Übersicht gibt  einen kurzen Einblick in den Prozessablauf:

  1. Jedes zu bearbeitende Werkstück wird nach individueller Vorbehandlung (Reinigung, Abdecken) in die Ofenanlage chargiert.
  2. Die Anlage wird geschlossen und die Behandlungsparameter eingegeben
  3. Danach wird evakuiert (Evakuieren = Vakuum ziehen) und bei Erreichen des vorgegebenen Druckes automatisch gestartet.
  4. Durch Einschalten des Gleichstromes (Hochspannung) ist die Ofenwand positiv (anodisch), die Werkstücke negativ (kathodisch). Das heißt, die positiv geladenen Gasionen wandern von der Ofenwand auf die Werkstücke. Dabei findet folgender Prozess statt:
    1. Auslösen von Elektronen
    2. Herauslösen von Atomen aus der Oberfläche
    3. Eindingen der Ionen in die Werkstückrandschicht
    4. Abgabe der kinetischen Energie an die Oberfläche: Aufheizen der Werkstücke.
  1. Nach Ablauf der Behandlungszeit kühlen die Werkstücke im Vakuum unter Zugabe von Schutzgas auf Raumtemperatur ab.